硅片是制作晶體管和集成電路的原料。一般是單晶硅的切片。硅片，是制作集成電路的重要材料。光伏行業(yè)近年來越來越重視硅片等產(chǎn)品的質(zhì)量檢測(cè)，以往常見的硅片會(huì)出現(xiàn)尺寸不合格、崩邊、隱裂等問題。那么國(guó)辰是如何解決這一問題的呢？下面和我一起去看看吧

【瑕疵問題】

尺寸不合格、崩邊、隱裂，四邊產(chǎn)生缺角、破碎等缺陷問題。如這些缺陷不能即時(shí)快速的被發(fā)現(xiàn)，將會(huì)影響到的產(chǎn)品的質(zhì)量

【解決方法】

我們運(yùn)用機(jī)器視覺的原理，對(duì)生產(chǎn)線上的硅片進(jìn)行實(shí)時(shí)圖像攝取，并通過專門開發(fā)的圖像處理分析軟件對(duì)圖像進(jìn)行分析，判斷硅片四周是否有缺陷。如檢測(cè)到有缺陷，就會(huì)通過聲、光報(bào)警提示操作人員及時(shí)處理。同時(shí)缺陷硅片的圖像被存儲(chǔ)到計(jì)算機(jī)，供事后查詢、分析。

【硅片在線檢測(cè)工藝流程】

【產(chǎn)品特點(diǎn)】

1、深度算法：可以根據(jù)不良品綜合多維度的邊界特征，進(jìn)行訓(xùn)練，做到很多傳統(tǒng)算法不能做到的檢測(cè)項(xiàng)目，不斷提高檢測(cè)精度;

2、缺陷標(biāo)識(shí)：發(fā)現(xiàn)瑕疵時(shí)可進(jìn)行聲光報(bào)警，同時(shí)產(chǎn)品幅面邊緣可以進(jìn)行自動(dòng)標(biāo)記，提示及時(shí)修復(fù)，避免大量缺陷產(chǎn)品的產(chǎn)生;

3、信息打?。涸跈z測(cè)到瑕疵時(shí)系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)出當(dāng)前瑕疵的圖像、面積、位置、大小等信息，同時(shí)可連接打印機(jī)選擇打印信息;

4、數(shù)據(jù)庫(kù)管理：可以對(duì)生產(chǎn)的每卷材料進(jìn)行精確的質(zhì)量統(tǒng)計(jì)，詳細(xì)的缺陷記錄和統(tǒng)計(jì)為生產(chǎn)工藝及設(shè)備狀態(tài)提供了方便，有效保證產(chǎn)品質(zhì)量;

5、系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)：當(dāng)系統(tǒng)檢測(cè)到疵點(diǎn)時(shí)進(jìn)行聲光報(bào)警，也可在系統(tǒng)中加入其它連鎖I/O輸出;

6、統(tǒng)計(jì)分析：功能豐富的OA軟件，具備存貯、報(bào)警、統(tǒng)計(jì)分析、報(bào)表等功能;

【檢測(cè)效果】

通過不斷優(yōu)化模板設(shè)置，進(jìn)行大批量的測(cè)試，檢測(cè)系統(tǒng)可檢出非常微小的崩邊、隱裂，四邊產(chǎn)生缺角、破碎等缺陷問題。這些硅片的提前剔除為提升后道工序的品質(zhì)、減少后續(xù)工藝?yán)速M(fèi)有重要意義。且檢出>99%，誤檢率<0.05%，響應(yīng)時(shí)間0.1s，得到了客戶的認(rèn)可。

小結(jié)：目前解決硅片檢測(cè)的重要方法是依托機(jī)器視覺技術(shù)進(jìn)行解決，通過在線視覺檢測(cè)技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)人工檢測(cè)的替換，提升檢測(cè)的準(zhǔn)確性和減少人力成本。